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空氣粒子濃度*通用潔凈標準
日期:2024-12-20 09:43
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摘要:
空氣粒子濃度*通用潔凈標準按(粒子個數(shù)/每立方米)
*通用潔凈標準
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*通用潔凈標準
ISO14644-1 | 美國聯(lián)邦FED STD 209E | |||||||
CLASS | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | CLASS | 0.5um |
1 | 10 | 2 |
|
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2 | 100 | 24 | 10 | 4 |
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3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
| 1 | 35.3 |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 |
| 10 | 353 |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 | 3530 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 | 35300 |
7 |
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| 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | 353000 |
8 |
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| 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | 3530000 |
9 |
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| 35200000 | 8320000 | 293000 |
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